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 PED脈沖電子束鍍膜


美國NEOCERA公司

 

  應用

Neocera公司的使命是為研究新型先進薄膜材料和器件的科學家和工程師提供服務。我們通過以下手段來實現此目標:

l        發展在材料科學和器件工程方面的基礎競爭力

l        在薄膜制造方面,提供最先進的脈沖電子束鍍膜(PED)和脈沖激光鍍膜(PLD)設備

l        提供卓越的技術支持

l        參與共同的研究與開發

Neocera公司是一家PED 和PLD設備的增值供應商。在PED 和PLD科學和技術的前沿方面,我們提供最先進的解決方案;我們的設備和實際經驗將幫助解決你們的問題。

另外,Neocera公司參與政府部門和工業客戶的前沿的研究與開發;作為材料科學家,我們了解你們的需要。

  技術指標

一、           PED-120系統的技術指標

l      PEBS-20脈沖電子源和電源

l      真空腔:直徑12"

Ø      額定基壓:<1x10-6 Torr

l      基片加熱器,直徑2",帶控溫器

Ø      氧氣可達大氣壓力

Ø      最高溫度:950 °C

Ø      溫度均勻性:±5 °C

Ø      溫度穩定性:±1 °C

Ø      基片加熱器檔板

l      靶盒,手動控制

Ø      可放置6個1"的靶或3個2"的靶

Ø      靶與法蘭的距離:4"

l       氣路

Ø      質量流量計控制進入真空腔的流量,量程100sccm

Ø      控制采用單通道設置/數值顯示

l      真空泵系統

Ø      260 l/s 帶冷阱的渦輪分子泵,高真空泵

Ø      4 m3/hr無油機械泵

Ø      8"閘板閥,手動控制

Ø      排氣/出氣閥,用于氧氣的安全操作

l      真空計,顯示讀數

Ø      冷陰極型

Ø      對流型

l      系統框架

Ø      占地面積:22”W x 34”D

Ø      空間:    30”W x 34”D

Ø      總高度:  54"-58"

Ø      標準19"電子元件安裝架

Ø      腳輪和水平調節器

l        電源

Ø      110-240 VAC/50 Hz, 20 A,單相

二、PEBS-20脈沖電子源系統的技術指標

組成:

l        PEBS-20脈沖電子源

l        電源

l        電子控制系統

l        預裝軟件的控制計算機

技術指標:

電壓:115-230 VAC, 50/60 Hz, 單相

氧氣壓力:5-20 mTorr

電子能量:8-20 kV

單次脈沖能量:0.1 – 0.8 J

脈沖能量偏差(Max):±10%

能量轉換效率:25-30%

脈沖持續時間:~100 ns

脈沖重復速率(Max):15 Hz

電子束斑面積(Min):6 x 10-2 cm2

電子束斑面積偏差(Max):±20%

脈沖能量密度(Max):1.3 x 108 W/ cm2

Z軸移動距離:50 mm

XY軸移動距離:±20 mm

工作壽命:107 次脈沖

PEBS源的工作溫度(Max):85 °C

  特點

脈沖電子束沉積(PED)的特點

與CW技術相比,例如傳統的電子束蒸發,脈沖系統的主要特點是可以在靶材表面上

產生最高達108W/cm2的高能量密度。因此,靶材的熱動力學特性比如熔點和比熱等

在蒸發過程中就變得不重要了。這一點對復雜的、多組分材料特別具有優勢。與脈

沖激光沉積(PLD)相比,脈沖電子束沉積(PED)技術提供了獨一無二的平臺,在

一系列具有重要技術價值的基片上沉積復雜材料的薄膜,其獨特的優點在于擴展了

材料的范圍和應用。這種方法在大批量生產中可以大規模應用且成本低廉。

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